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NEXIV VMR系列標配硬件

NEXIV VMR系列標配硬件

產品詳情
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產品名稱:NEXIV VMR系列標配硬件
產品類別:日本尼康精密光學測量
產品說明:
一、1、2、3型機的標配硬件
專為NEXIV VMR設計的、高品質專用物鏡

 

該物鏡數值孔徑高達 0.35,工作距離長達 50 毫米,經過專門的消畸變設計,可以充分保證工件視窗的窗內測量精度,特別適合于視頻圖象的精密坐標測量。

具有15 倍變焦比的光學頭
3 個型號(1、2、3 型)各自有 5 級放大倍率。15倍變焦比的5段自動變焦鏡組,可以在各段(倍率)間進行自由切換,以滿足低倍大視場觀察搜索和高倍精密測量兩方面的需求。

放大倍率與視場(毫米)

上述總放大倍率為17 英寸液晶顯示器,設置為 SXGA(1280×1024)模式時,顯示器屏幕上的放大倍率。
已升級的TTL 激光自動對焦裝置
該裝置具有對焦速度快、工作距離長、測量精度高的特點,它可以在低倍條件下實現對具有高度差的狹窄區域的自動對焦。它還可以進行每秒1000 點的高速掃描,實現多種高精度 Z 軸掃描測量。

 

TTL激光自動對焦裝置的構成

 

用激光掃描得到的錫球表面(三維鳥瞰顯示)

高速高精度影象自動對焦
由于采用了新的圖象數據處理時序以及逐行掃描CCD,使影象自動對焦具有更高的速度和準確度。影象自動對焦適用于不能使用 TTL 激光自動對焦的場合,例如對傾斜度較大的斜面以及回轉體外側邊界的對焦。利用多重影象自動對焦功能,能夠同時測量視場內多個不同高度的點。
多種照明方式
VMR 系列有多種照明方式可供選擇,能夠為工件提供理想的照明,這包括:

八方向獨立可控LED環形斜照明,分內外兩層照明環,其中:
內環照明(與光軸的夾角為 37度);
外環照明(與光軸的夾角為 75度)。

反射照明(頂部光);

透射照明(底部光)。

 

8方向LED環形照明

先進的照明手段,使您能夠看清通常不易看清的邊界,從而可以準確地檢出邊界。此外,VMR系列的照明條件可以程序控制、記憶,編輯也很方便,可以做多語句同時指定。

二、高倍機的標配硬件
新開發的高倍頭 VMR-Z120X
這種新的鏡頭組,通過使用可以相互切換兩個物鏡與變焦頭的有機組合,實現從 1倍到 120 倍的光學放大倍率。該系統在高倍下具有非常高的工件視窗窗內測量重復精度,8 級放大倍率總能使您能找到一個合適的倍率,并且可以實現從低倍大視場搜索,直到最小測量線寬約為1 微米的高倍觀察與精密測量。

放大倍率與視場(毫米)

上述總放大倍率為 17 英寸液晶顯示器,設置為 SXGA(1280×1024)模式時,顯示器屏幕上的放大倍率。

低放大倍率

1X

2X

4X

7.5X

高放大倍率

16X

32X

64X

120X(線寬6微米)

細光束、高分辨率 TTL 激光自動對焦裝置

 

該裝置配備有高數值孔徑的物鏡,具有激光光束細、光斑直徑小的特點,能夠進行超小激光光點測量。能夠顯著提高在纖薄的透明或半透明材料(如光阻材料)表面,或不規則反射面上對焦及掃描的性能??梢砸宰畲鬄槊棵?000 點的速度進行高速掃描測量,從而在多種應用中實現超高精度 Z 軸測量。


TTL激光自動對焦裝置的構成

64X

120X(線寬6微米)

三種照明類型
通過三種 CNC 可控照明____高倍垂直反射與透射、暗場照明,可以向各種工件提供最佳的照明,從而確保各種待測邊界可被準確、可靠地探測。
三、LU型機的標配硬件

CFI60 光學系統使用代表了尼康光學技術的最高水平的CFI60 光學系統,能攝取明亮的、高對比度的圖象,使系統更加適合于大型液晶顯示板及其彩色濾色片的測量。該系統既能通過圖象處理技術實現工件的尺寸測量,又能用于觀察目的。此外,它還可以通過使用高對比度DIC,增強DIC 成象能力。

LU型光學頭 LU型用CFI60系列物鏡群

通用電動物鏡轉換器
通過對電動物鏡轉換器的操控,CNC 測量程序可以改變放大倍率,并為顯微觀察選擇最優放大倍率以及最佳的物鏡。
從測量到數據處理的自動控制
易于使用的軟件可控制系統所有的功能,從各種照明的控制,到圖象處理以及載物臺的移動,測量過程實現自動化控制,確保測量結果的準確一致。使用 LU 型時,以下操作需要手動進行:明場與暗場照明的切換;視場光闌及孔徑光闌的設置;起偏器*、檢偏器*與Nomarski 棱鏡的設置。但此項是有電動型選配件的。
電動旋轉起偏器/檢偏器(選配)

可選配的電動旋轉起偏器/檢偏器使操作人員能夠根據工件情況優化圖象對比度。這樣在進行 DIC 成象時,可以看到更加明顯的微分干涉效果。


各種 CFI60 物鏡
CFI60 光學系統最大限度地抑制了雜光,并具有數值孔徑(N.A.)高和工作距離(W.D.)長的特點,所以能夠攝取明亮的、高對比度的圖象。VMR 系列可使用包括 CFI LU 平場 BD在內的各種 CFI60 通用物鏡鏡頭。


   *使用EPI系列物鏡時, 需使用LU物鏡轉接環。

LCD觀測用CFI物鏡


   *工作距離與玻片厚度較正環的定位有關。

放大倍率及視場大小


   *出廠選件為0.5x鏡筒透鏡或1.0x鏡筒透鏡

LCD 物鏡鏡頭的作用

請比較使用平場EPI物鏡和LCD物鏡,隔著玻璃時的觀察效果。使用LCD觀測用CFI物鏡,即便是隔著玻璃,圖象依然清晰可見。

使用平場EPI物鏡鏡頭

使用LCD物鏡鏡頭


Nomarski DIC 圖象

 

CFI  LU平場BD 20x 物鏡

采用 DIC 顯微術,微小的高度差可以呈現為明亮的高對比度圖象,所以能夠觀察 ACF(各向異性導電膜)焊接過程中的顆粒分布情況。

暗場圖象

 

CFI  LU平場BD 50x 物鏡


詢盤
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