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3D表面zygo輪廓儀應用
- 2019-12-16-

精確測量動態性MEMS機器設備 電子光學輪廓儀是明確MEMS機器設備表層特點的一 種十分有效的專用工具。傳統上,電子光學輪廓儀被用于精確測量試品的表層特點??墒?,在精確測量全過程中,所精確測量的試品需維持在靜止不動的情況下,假如試品不平穩或是 處在健身運動情況則會造成圖象錯亂模糊不清、信息不詳細或是內容丟失等狀況。殊不知,針對MEMS機器設備,必須明確該機器設備處在健身運動情況時的晶相特點,掌握和明確 其在健身運動情況下的作用和特點對產品研發和生產制造質量管理尤為重要,做為產品質量檢驗,只能動態性精確測量才能夠 真實仿真模擬MEMS具體運作情況,進而超過正確實作用監測。
優秀的3D電子光學zygo輪廓儀可以保持這一精確測量作用,應用NewView?7300和新的動態性精確測量控制模塊DMM能夠 產生一個動態性精確測量管理體系:一個閃頻的LED燈源同歩于MEMS機器設備的開啟數據信號,根據調節燈源的閃頻頻率,其MEMS機器設備的健身運動被合理“靜止不動”。保持電子光學zygo輪廓儀在 動態性機器設備上開展精確測量。
不論是生產加工全過程中的質量管理,還是試驗室的科學研究,ZYGO配有DMM控制模塊的NewView?7300對系統查驗靜態數據和動態性MEMS出示了必不可少的精確測量機器設備和全方位的解決方案。其最好的檢測范圍和精確測量速率,已變成動態性MEMS精確測量的理想化解決方法。
塑料薄膜深入分析運用 白光燈掃描儀干涉儀NewView?系列產品可以從試品表層反射面和參考反射面的相干光中產出率晶相高寬比信息。干預物鏡在豎直方位上開展掃描儀,CCD紀錄下干預花紋的演化。電子計算機根據深入分析花紋演化全過程中的抗壓強度轉變,就能精準明確試品晶相的高寬比。
以往,檢測試品時,只能一個調配數據信號被查驗到,但絕大多數的試品如半導體材料、MEMS、平面圖顯示器等,這種試品散射且能在試品的同一點上造成好幾個調配數據信號,運用傳統式的統計分析方法來解決這種數據信號有將會造成有誤或找不到的信息。
為分離出來好幾個調配數據信號,MetroPro?8.1.1(或更高級版本號)包括ZYGO專利權的塑料薄膜分析系統——TopSlice和FilmSlice能夠 清除這種缺點并讓客戶得到以下結果:
? 獨立精確測量塑料薄膜頂端表層晶相
? 獨立精確測量塑料薄膜底端表層晶相
? 獨立精確測量塑料薄膜薄厚、頂端表層晶相和底端表層晶相
NewView?7300系統軟件選用一種加強型燈源,包含一個LED燈源和一個可變性的焦距來限制燈源的數值孔徑。其焦距確保全部的物鏡能夠 用于精確測量塑料薄膜的第二個面和薄厚,5倍或是更低的物鏡能夠 精確測量電子光學薄厚1.5μm至75μm塑料薄膜的頂端面型特點和底端面型特點及其塑料薄膜薄厚,超過5倍的物鏡能夠 獲得更精準測量,可是可精確測量的較大塑料薄膜薄厚伴隨著物鏡的變大倍率提升而減少。MetroPro?塑料薄膜深入分析控制模塊另外出示頂端面型、第二面(一般稱之為底端)面型和塑料薄膜薄厚的信息。
MetroPro?塑料薄膜深入分析運用融合ZYGO最出色的輪廓儀—NewView?7300—是現階段對塑料薄膜面型和塑料薄膜薄厚定量分析和立即顯示信息的更快且作用最健全的儀器設備。ZYGO專利權的TopSlice和FilmSlice計算方式讓客戶在塑料薄膜中對塑料薄膜薄厚的較大范疇和無法比擬的可重復性具備充裕的自信心。
精確測量次納米技術表層晶相 大家都知道,白光燈電子光學輪廓儀能夠 用于精確測量表層晶相。伴隨著機械設備精密度和電子光學生產能力的提升,超光潔或是次納米技術表層的生產加工愈來愈普及化,這種表層的量化分析已變成過程管理的重要。
NewView?7000系列產品電子光學輪廓儀應用掃描儀白光干涉技術性配置MetroPro?手機軟件和專利權的FDA深入分析技術性促使表層晶相的精確測量可以超過次納米技術重量級。假如非常好的控制測量自然環境,挑選適合精確測量主要參數及其靠譜的儀器校正,則表層粗糙度測量能夠 超過皮米重量級(1×10-12)。
在對超光潔表層開展定量分析檢測時,最先要清晰每一個檢測系統均存有其具有本底噪音。這種噪音來源于電子器件噪音、信號接收器噪音、參照鏡表層的細微不整平及其精確測量自然環境造成的細微震動等。對大部分試品,NewView系統軟件的精確測量噪音大部分能夠 忽視,由于所精確測量的結果遠高于本底噪音。但針對十分光潔的表層,本底噪音就得多方面考慮到,對這種試品的精確測量就必須清晰了解噪音的來源于并多方面非常好的操縱。
精確測量超光潔表層必須對精確測量自然環境非常好的操縱,理想化的精確測量自然環境是:
? 機械設備和聲波頻率震動的降到最低
? 在精確測量時間內嚴控溫度的轉變,使試品,物鏡溫度轉變最 小化
? 嚴控物鏡和試品中間的氣旋,使氣旋對精確測量危害降到最低
很多噪音源能夠 根據下列的方式來清除或降低,一是非常好操縱測試環境如聲波頻率、氣旋、溫度以及轉變等;二是開展數次精確測量并將精確測量結果多方面均值進而得到非常好的精確測量結果。
根據所述敘述的方式和精確測量全過程,能夠 證實ZYGO有工作能力精確測量表面粗糙度低于0.05nm的光潔表層,非常好地操縱自然環境并挑選適合的內部精密度及其根據優化系統涵數的位相均值頻次,就能讓電子光學輪廓儀精確測量高品質的表層晶相。因而,NewView?7300的高取樣速率和高像素促使超光潔表層晶相精確測量越來越易如反掌。
機械加工制造中的運用 傳統式的機械零件因為受生產設備的限定,對精密度包含平整度,表面粗糙度的規定基本下滯留在μm重量級。但伴隨著技術性發展趨勢,大家對機械零件的生產加工精密度規定剛開始向納米技術重量級邁入,機器設備生產加工精密度的提升推動無損檢測技術的發展趨勢,傳統式的監測方式包含容柵和2D方法的監測方式對監測納米技術重量級精密度的機械零件有挺大的局限。
電子光學輪廓儀最開始運用在電子光學生產加工制造行業時,其3D、髙速、高精密、靠譜和平穩,剛開始造成生產加工人員的留意并剛開始運用。ZYGO電子光學輪廓儀已在發動機噴油嘴、半導體材料激光切割數控刀片、外固定支架生產制造、量塊校準等層面有很多的運用。ZYGO的MetroPro?分 析手機軟件中的一些特殊作用如平整度、表面粗糙度、平行度和高寬比差等在機械加工制造監測中展現更新的運用。

 

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