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                Zygo白光干涉儀的常見故障及分析
                - 2021-09-07-

                1.zygo白光干涉儀環不圓。

                原因:

                (1)倒轉分光膜。

                二是兩組出射光瞳不正。

                (3)分光板、補償板、活動鏡和參考鏡具有壓應力。

                維護方法:分光板膜層應為入射光的第二面,如安裝在一面,調出的等傾干圓涉環為直橢圓形干涉環,可旋松分光板的三個寬頭螺釘,取出分光板,將三個寬頭螺釘旋至原來的壓力。請參考分光板的故障維護方法。補償板寬頭螺釘、移動鏡和參考鏡的調節滾花螺釘壓力過大,使各鏡片逐漸變形產生等傾干涉環不規則,適當松開過緊螺釘即可消除。

                2.zygo白光干涉儀空間大于0.03毫米。

                原因:

                (1)傳動螺母與螺桿的配合間隙較大。

                (2)拖板體下的頂塊間隙較大。

                三、zygo白光干涉儀檔板與導軌配合過松。

                維護方法:首先可調整頂塊間隙,使拖板體內的旋松塊螺釘處于工作狀態,左手拇指將拖板體輕推至讀數頭方向,中指按壓頂塊,然后固定。如果還沒有達到要求,調整檔板和導軌之間的間隙可達0.02mm,然后調整傳動螺母上的兩個螺釘(舊產品有四個)。

                轉動粗手輪時,請勿移動拖板。

                原因:

                (1)儀器受到強烈沖擊后,螺桿從尾架上脫落,導致讀數頭嚙合齒輪錯位。

                (2)傳動小齒輪的緊固螺母松動,導致傳動小齒輪與螺摩擦。

                (3)松開大齒輪和粗動輪的壓緊螺母。

                維護方法:首先檢查粗動輪壓緊螺母,然后檢查精密螺釘是否向尾架方向脫落。如果已經脫落,可以松開尾架的三個螺釘,將螺釘推入讀數頭,然后慢慢擰緊三個螺釘。如果是小齒輪固定螺母,將螺釘推入讀數頭,然后慢慢擰緊螺母,再擰緊尾架的三個螺釘。如果是小齒輪固定螺母,應先拆下螺母。

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